مقدمه
در طول بیست سال گذشته پیشرفت میکروتکنولوژی قادر ساخته شده که سنسورهای کوچک و محرک های ان به صورت یکپارچه در یک بسته بندی ایجاد شوند.این فناوری باعث ایجاد سیستم های میکرو الکترونیک MEMS شده است.در این دو گزاش دو مورد احساس و کنترل سیستم های MEMS مورد توجه قرار می گیرد. در این گزارش مدارات الکترونیکی برای سنسورهای خازنی کم نویز و سیتمهای کنترل با فیدبک قوی ارائه شده است…..