مقدمه
سمینار احساس کنترل الکترونیکی شتاب سىج mems:
در طول بیست سال گذشته پیشرفت میکروتکنولوژی قادر ساخته که سنسورهای کوچک و محرک های آن به صورت یکپارچه در یک بسته بندی ایجاد شوند. این فناوری باعث ایجاد سیستم های میکروالکترونیک و مکانیک MEMS شده است. در این گزارش دو مورد احساس و کنترل سیستم های MEMS مورد توجه قرار می گیرد. در این گزارش مدارات الکترونیکی برای سنسورهای خازنی کم نوپز وسیستم های خازنی کم نوپز و سیستم های کنترل با فیدیک قوی ارائه شده است.
| اطلاعات بیشتر ... | |
|---|---|
| تعداد صفحات | 84 |
| پسوند فایل | |
| قابلیت ویرایش | ندارد |
| فرمت فایل | پی دی اف |
